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27:
304:
173:
1592:
36:
711:
965:
1600:
716:
1437:). The greater abundance of negatively-charged free radicals thus generated can yield higher silicon removal rates, and provide other process benefits such as less residual contamination and a lower net charge stress on the device being fabricated. As a somewhat more thoroughly consumed etching and cleaning agent, NF
1660:
has risen from about 0.02 ppt (parts per trillion, dry air mole fraction) in 1980, to 0.86 ppt in 2011, with a rate of increase of 0.095 ppt yr, or about 11% per year, and an interhemispheric gradient that is consistent with emissions occurring overwhelmingly in the
Northern Hemisphere, as expected.
714:
1655:
is released into the atmosphere. Robson projected that the maximum atmospheric concentration is less than 0.16 parts per trillion (ppt) by volume, which will provide less than 0.001 Wm of IR forcing. The mean global tropospheric concentration of
717:
1692:
compliance period, which begins in 2012 and ends in either 2017 or 2020. Following suit, the WBCSD/WRI GHG Protocol is amending all of its standards (corporate, product and Scope 3) to also cover NF
626:
2625:
V. Fthenakis; D. O. Clark; M. Moalem; M. P. Chandler; R. G. Ridgeway; F. E. Hulbert; D. B. Cooper; P. J. Maroulis (2010-10-25). "Life-Cycle
Nitrogen Trifluoride Emissions from Photovoltaics".
1492:
production, consumption, and waste emissions by large manufacturers has been required in many industrialized countries as a response to the observed atmospheric growth and the international
2564:
Arnold, Tim; Harth, C. M.; Mühle, J.; Manning, A. J.; Salameh, P. K.; Kim, J.; Ivy, D. J.; Steele, L. P.; Petrenko, V. V.; Severinghaus, J. P.; Baggenstos, D.; Weiss, R. F. (2013-02-05).
1464:
varies widely between equipment and applications. A sizeable fraction of the reactants are wasted into the exhaust stream and can ultimately be emitted into Earth's atmosphere. Modern
1511:
replacement for nitrogen trifluoride in some manufacturing applications. It requires more stringent handling and safety precautions, especially to protect manufacturing personnel.
715:
4882:
1619:
Since 1992, when less than 100 tons were produced, production grew to an estimated 4000 tons in 2007 and is projected to increase significantly. World production of NF
5320:
5306:
4399:
5501:
5237:
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5055:
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7928:
7445:
5047:
4839:
4172:
1110:. It is prepared in modern times both by direct reaction of ammonia and fluorine and by a variation of Ruff's method. It is supplied in pressurized cylinders.
7908:
7581:
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5020:
3937:
2726:
1902:
1880:
1741:
1669:
global production estimates. This is a significantly higher percentage than has been estimated by industry, and thus strengthens the case for inventorying NF
806:
7468:
4555:
4188:
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7533:
1814:
978:
2200:
Parry, Robert W., and Thomas C. Bissot. "The
Preparation and Properties of Phosphorus Trifluoride-Borane and Phosphorus Trifluoride-Borane-d
7866:
7623:
1584:
was included in that grouping with effect from 2013 and the commencement of the second commitment period of the Kyoto
Protocol. It has an estimated
7805:
7522:
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2752:
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2510:
1128:
of 0.2340 D. By contrast, ammonia is basic and highly polar (1.47 D). This contrast reflects the differing electronegativities of H vs F.
353:
2697:
1673:
production and for regulating its emissions. One study co-authored by industry representatives suggests that the contribution of the NF
1956:
1393:
2376:
678:
2674:
973:
1024:
gas with a slightly musty odor. In contrast with ammonia, it is nonbasic. It finds increasing use within the manufacturing of
6232:
2084:
571:
1162:
at high temperatures. Consequently it is compatible under standard conditions with several plastics, as well as steel and
2460:
3547:
1588:
of 740 years, although other work suggests a slightly shorter lifetime of 550 years (and a corresponding GWP of 16,800).
600:
6920:
2693:
318:
1744:(NIOSH) specifies that the concentration that is immediately dangerous to life or health (IDLH value) is 1,000 ppm.
8218:
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5728:
1753:
2377:"Fluorinated Greenhouse Gas Emissions and Supplies Reported to the Greenhouse Gas Reporting Program (GHGRP)"
1538:
since the 1990s is shown in right graph, along with a subset of similar man-made gases. Note the log scale.
6669:
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2007:
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Nitrogen trifluoride can be prepared from the elements in the presence of an electric discharge. In 1903,
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1611:) at stations around the world. Abundances are given as pollution free monthly mean mole fractions in
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1688:, within the context of the Kyoto Protocol, decided to include nitrogen trifluoride in the second
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2522:
2003:"Revised IR spectrum, radiative efficiency and global warming potential of nitrogen trifluoride"
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1924:
Philip B. Henderson, Andrew J. Woytek "Fluorine
Compounds, Inorganic, Nitrogen" in Kirk‑Othmer
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is slightly soluble in water without undergoing chemical reaction. It is nonbasic with a low
1107:
947:
638:
110:
48:
2320:
H. Reichardt, A. Frenzel and K. Schober (2001). "Environmentally friendly wafer production:
2144:
1933:
1522:. There it is also preferred to fluorine gas due to its more convenient handling properties
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2639:
2579:
2397:
J. Oshinowo; A. Riva; M Pittroff; T. Schwarze; R. Wieland (2009). "Etch performance of Ar/N
2245:
2015:
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2425:"Climate Change Indicators: Atmospheric Concentrations of Greenhouse Gases - Figure 4"
2345:
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is expected to reach 8000 tons a year by 2010. By far the world's largest producer of
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Tsai, W.-T. (2008). "Environmental and health risk analysis of nitrogen trifluoride (
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1106:, all of which are explosive. Alone among the nitrogen trihalides it has a negative
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has not been subject to significant use restrictions. The annual reporting of
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Sinke, G. C. (1967). "The enthalpy of dissociation of nitrogen trifluoride".
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2360:"F-GHG Emissions Reduction Efforts: Flat Panel Display Supplier Profiles"
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2002:
1998:
1608:
1357:
1086:
prepared nitrogen trifluoride by the electrolysis of a molten mixture of
758:
745:
2204:." Journal of the American Chemical Society 78, no. 8 (1956): 1524-1527.
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1839:
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7148:
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2675:"Nitrogen trifluoride: the new mandatory Kyoto Protocol greenhouse gas"
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1441:
has also been promoted as an environmentally preferable substitute for
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1083:
1017:
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Except where otherwise noted, data are given for materials in their
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2805:
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2103:, Joseph Fischer, Fritz Luft (1928). "Das Stickstoff-3-fluorid".
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This rise rate in 2011 corresponds to about 1200 metric tons/y NF
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732:
419:
211:
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National
Pollutant Inventory – Fluoride and compounds fact sheet
7066:
2694:"Nitrogen trifluoride – Cleaning up in electronic applications"
1685:
690:
2448:. National Oceanic and Atmospheric Administration. 2020-06-30.
2921:
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1899:
Immediately
Dangerous to Life or Health Concentrations (IDLH)
1163:
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929:
235:
121:
99:
287:
3475:
2174:
Ruff, John K. (1967). "Derivatives of
Nitrogen Fluorides".
1728:, and overexposure via inhalation causes the conversion of
1716:
is not hazardous, and it is a relatively minor irritant to
1287:
843:
790:
409:
2045:"Beyond Carbon: Scientists Worry About Nitrogen's Effects"
1681:
budget of thin-film Si-solar cell manufacturing is clear.
1376:, and certain other metals. In addition to serving as an
2379:. U.S. Environmental Protection Agency. 27 September 2015
1599:
902:
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2075:
Lidin, P. A.; Molochko, V. A.; Andreeva, L. L. (1995).
1604:
1266:
react vigorously even at cryogenic temperatures to give
1173:
reacts with metals, carbon, and other reagents to give
2758:
Code of
Practice (European Industrial Gas Association)]
2563:
1460:
The utilization efficiency of the chemicals applied in
2727:
National Institute for Occupational Safety and Health
2074:
1903:
National Institute for Occupational Safety and Health
1881:
National Institute for Occupational Safety and Health
1742:
National Institute for Occupational Safety and Health
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2068:
1324:Nitrogen trifluoride is primarily used to remove
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223:
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713:
85:
2218:
2042:
6914:
3541:
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2129:: CS1 maint: multiple names: authors list (
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1815:Physical Properties for Nitrogen Trifluoride
1720:and eyes. It is a pulmonary irritant with a
1077:
6921:
6907:
3548:
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3508:
3494:
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2783:
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171:
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1942:
1534:Growth in atmospheric concentration of NF
259:
2618:
2390:
2233:, the greenhouse gas missing from Kyoto"
2143:
1990:
1875:NIOSH Pocket Guide to Chemical Hazards.
1598:
1590:
1529:
1060:(GWP) 17,200 times greater than that of
2438:
2285:), a toxic and potent greenhouse gas".
2147:(2006). "Nitrogen–fluorine compounds".
1934:10.1002/0471238961.1409201808051404.a01
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3577:
3556:Salts and covalent derivatives of the
3515:
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1514:Nitrogen trifluoride is also used in
330:Key: GVGCUCJTUSOZKP-UHFFFAOYSA-N
129:
2804:
2477:
2272:
2173:
2167:
1928:, 1994, John Wiley & Sons, NY.
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1909:
1863:
340:Key: GVGCUCJTUSOZKP-UHFFFAOYAA
214:
13:
2508:
1736:, which can lead to the condition
1356:are the active agents that attack
1348:is initially broken down within a
1294:and the large-scale production of
709:
14:
8230:
2749: (archived December 22, 2003)
2736:
1525:
1286:High-volume applications such as
2079:(in Russian). pp. 442–455.
963:
801:7500 ppm (mouse, 1 h)
34:
25:
2715:
2666:
2471:
2452:
2369:
2352:
2219:Prather, M.J.; Hsu, J. (2008).
2194:
2137:
2093:
2057:from the original on 2018-01-23
1281:
959:(at 25 °C , 100 kPa).
837:TWA 10 ppm (29 mg/m)
824:TWA 10 ppm (29 mg/m)
6340:lanthanide, actinide, ammonium
2692:Malik, Yogender (2008-07-03).
2161:10.1016/j.jfluchem.2006.03.001
1887:
1846:
1819:
1807:
1776:
1643:. An estimated 2% of produced
424:3.003 kg/m (1 atm, 15 °C)
1:
5865:chlorides, bromides, iodides
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1801:
1754:IPCC list of greenhouse gases
1392:is also widely used to clean
811:(US health exposure limits):
799:6700 ppm (rat, 1 h)
789:2000 ppm (mouse, 4
2519:Royal Meteorological Society
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2405:for CVD/ALD chamber clean".
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426:1.885 g/cm (liquid at b.p.)
7:
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2459:M. Roosevelt (2008-07-08).
2334:Microelectronic Engineering
1747:
1607:) in the lower atmosphere (
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10:
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8015:
5176:
2673:Rivers, Ali (2012-08-15).
2571:Proc. Natl. Acad. Sci. USA
1320:Etching (microfabrication)
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1313:
1016:). It is a colorless, non-
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2901:
2813:
2636:American Chemical Society
2511:"Nitrogen trifluoride (NF
2001:; Wallington, T. (2006).
1699:
1677:emissions to the overall
1352:. The resulting fluorine
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2593:10.1073/pnas.1212346110
2496:10.1038/climate.2008.72
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1978:Cite journal requires
1895:"Nitrogen trifluoride"
1759:Nitrogen pentafluoride
1616:
1596:
1572:greenhouse gases, and
1539:
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1518:, which are types of
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1296:thin-film solar cells
1108:enthalpy of formation
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337:InChI=1/F3N/c1-4(2)3
52:Nitrogen trifluoride
2762:WebBook page for NF
2644:2010EnST...44.8750F
2584:2013PNAS..110.2029A
2490:. pp. 99–100.
2250:2008GeoRL..3512810P
2238:Geophys. Res. Lett.
2188:10.1021/cr60250a004
2145:Klapötke, Thomas M.
2020:2006GeoRL..3310817R
2008:Geophys. Res. Lett.
1854:Inorganic Chemistry
1840:10.1021/j100861a022
1423:sulfur hexafluoride
1292:flat panel displays
1212:tetrafluoroammonium
1100:nitrogen tribromide
1026:flat-panel displays
921:bismuth trifluoride
913:arsenic trifluoride
886:nitrogen tribromide
505:trigonal pyramidal
453:Solubility in water
21:
8204:Nitrogen fluorides
3517:Fluorine compounds
2729:. 2 November 2018.
2050:The New York Times
1704:Skin contact with
1617:
1613:parts-per-trillion
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1554:is second only to
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890:nitrogen triiodide
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1790:– below ordinary
1738:methemoglobinemia
1466:abatement systems
1417:in comparison to
1370:tungsten silicide
1276:hydrofluoric acid
1272:boron trifluoride
1160:organic compounds
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994:Chemical compound
992:
991:
943:Related compounds
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601:Gibbs free energy
283:CompTox Dashboard
111:Interactive image
60:Nitrogen fluoride
16:Chemical compound
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