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788:) with a fluorine atom substituted for one of the hydrogen atoms. It is used in semiconductor manufacturing processes as an etching gas in plasma etch reactors.
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Siegemund, Günter; Schwertfeger, Werner; Feiring, Andrew; Smart, Bruce; Behr, Fred; Vogel, Herward; McKusick, Blaine (2002). "Fluorine
Compounds, Organic".
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Except where otherwise noted, data are given for materials in their
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893:Ullmann's Encyclopedia of Industrial Chemistry
796:The compound is the lowest mass member of the
509:−137.8 °C (−216.0 °F; 135.3 K)
1754:
1714:
974:
764:, is a non-toxic, liquefiable, and flammable
519:−78.4 °C (−109.1 °F; 194.8 K)
879:Institute for Occupational Safety and Health
830:) is 38.171 J·mol·K at 25 °C. The
1761:
1747:
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1707:
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780:. The name stems from the fact that it is
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41:Spacefill model of fluoromethane
704:(at 25 °C , 100 kPa).
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902:10.1002/14356007.a11_349
844:Organofluorine chemistry
617:Precautionary statements
4551:with transition metal,
896:. Weinheim: Wiley-VCH.
398:InChI=1S/CH3F/c1-2/h1H3
824:specific heat capacity
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32:
5008:thionyl, phosphoryl,
4080:and pseudohalogenides
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40:
30:
650:(fire diamond)
802:chlorofluorocarbons
526:Solubility in water
144:Beilstein Reference
18:
5142:Hydrofluorocarbons
1730:Fluorine compounds
939:. 2 November 2017.
925:Fluoromethane CH3F
731:Infobox references
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275:
253:Gmelin Reference
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